Diagnostics of reactive magnetron sputtering
| VAŠINA, Petr, Pavel DVOŘÁK, Tereza SCHMIDTOVÁ, Vilma BURŠÍKOVÁ a Radek ŽEMLIČKA. Diagnostics of reactive magnetron sputtering. 2010. |
|
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
| Základní údaje | |
|---|---|
| Originální název | Diagnostics of reactive magnetron sputtering |
| Název česky | Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování |
| Autoři | VAŠINA, Petr (203 Česká republika, domácí), Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika, garant, domácí), Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí) a Radek ŽEMLIČKA (203 Česká republika, domácí). |
| Vydání | 2010. |
| Další údaje | |
|---|---|
| Originální jazyk | angličtina |
| Typ výsledku | Vyžádané přednášky |
| Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
| Stát vydavatele | Irsko |
| Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
| Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
| Klíčová slova česky | vyšší harmonické frekvence;plazma;magnetron;diamantu podobné vrstvy |
| Klíčová slova anglicky | higher harmonic frequencies;plasma;magnetron;DLC |
| Příznaky | Mezinárodní význam, Recenzováno |
| Změnil | Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 15. 12. 2020 17:38. |
| Anotace |
|---|
| Monitoring of reactive magnetron sputtering and thin film deposition/etching by means of higher harmonic frequencies. |
| Anotace česky |
|---|
| Sledování reaktivního magnetronového naprošování a depozice/leptání tenkých diamantu podobných vrstev pomocí měření vyšších harmonických frekvencí. |
| Návaznosti | |
|---|---|
| GA202/07/1669, projekt VaV | Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
| Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích | |
| GP202/08/P038, projekt VaV | Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev |
| Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev | |
| MSM0021622402, záměr | Název: Časná diagnostika a léčba kardiovaskulárních chorob |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Časná diagnostika a léčba kardiovaskulárních chorob | |
VytisknoutZobrazeno: 25. 4. 2024 13:07