OVĚŘENÁ TECHNOLOGIE - Průmyslová příprava TiZrN vrstev

SOCHORA, Vjačeslav and Petr VAŠINA. OVĚŘENÁ TECHNOLOGIE - Průmyslová příprava TiZrN vrstev (Proven technology - Industrial deposition of TiZrN coatings). 2021.

Basic information

• Original name: OVĚŘENÁ TECHNOLOGIE - Průmyslová příprava TiZrN vrstev
• Name (in English): Proven technology - Industrial deposition of TiZrN coatings
• Authors: SOCHORA, Vjačeslav and Petr VAŠINA (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution).
• Edition: 2021.

Other information

• Original language: Czech
• Type of outcome: Pilot plant, certified technology, variety, breed
• Field of Study: 10305 Fluids and plasma physics
• Country of publisher: Czech Republic
• Confidentiality degree: is not subject to a state or trade secret
• RIV identification code: RIV/00216224:14310/21:00118705
• Organization unit: Faculty of Science
• Keywords in English: magnetron sputtering; nitrides; structure; mechanical properties
• Technical parameters: Depoziční proces využívající metodu reaktivního magnetronového rozprašování segmentového terče sestaveného z kroužků titanu a zirkonia lze použít k přípravě ochranných Ti-Zr-N vrstev s tvrdostí 25 GPa, efektivním modulem pružnosti 400 GPa, zvýšenou odolností proti lomu, vysokou tloušťkou a dobrou adhezí na ocelový, křemíkový a WC:Co substrát, a také jiným typům ochranných vrstev.

Abstract

Technologie přípravy tvrdých Ti-Zr-N vrstev se zvýšenou lomovou houževnatostí je založena na reaktivním magnetronovém odprašování rotujícího válcového terče, který je tvořen segmenty titanu (Ti) a zirkonia (Zr).

Abstract (in English)

The deposition technology of Ti_Zr_N coatings with enhanced fracture toughness is based on reactive magnetron sputtering of a rotating cylindrical target composed of titanium (Ti) and zirconium (Zr) segments.

Links

• FV30262, research and development project: Name: Vývoj průmyslové technologie pro depozice tvrdých XBC a TiXN povlaků se zvýšenou lomovou houževnatostí

Investor: Ministry of Industry and Trade of the CR