k 2021

Investigation of spokes in reactive HiPIMS using Ar/N2 atmosphere

KLEIN, Peter, Jaroslav HNILICA, Matej FEKETE, Marta ŠLAPANSKÁ, Petr VAŠINA et. al.

Basic information

Original name

Investigation of spokes in reactive HiPIMS using Ar/N2 atmosphere

Authors

KLEIN, Peter, Jaroslav HNILICA, Matej FEKETE, Marta ŠLAPANSKÁ and Petr VAŠINA

Edition

5th German-Czech Workshop on Nanomaterials, 2021

Other information

Type of outcome

Prezentace na konferencích

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Keywords in English

Spokes, magnetron, HiPIMS

Tags

International impact
Změněno: 19/1/2022 16:30, Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Links

GA19-00579S, research and development project
Name: Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
Investor: Czech Science Foundation
Displayed: 8/11/2024 12:00