J
1993
Influence of defects of thin films on determining their thickness by the method based on white light interference
MUSILOVÁ, Jana a Ivan OHLÍDAL
Základní údaje
Originální název
Influence of defects of thin films on determining their thickness by the method based on white light interference
Název česky
Vliv defektů v tenkých vrstvách na určení jejich tloušťky metodou interference bílého světla
Vydání
J. Phys. D: Appl. Phys. 1993, 0022-3727
Další údaje
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
tenké vrstvy
Klíčová slova anglicky
thin films
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
V originále
Method of determining the thickness of a thin film by white light interference. Influence of defects.
Česky
Metoda určení tloušťky tenké vrstvy pomocí interference bílého svqtla. Vliv defektů.
Zobrazeno: 18. 11. 2024 14:56