LÍBEZNÝ, Milan, M. CAYMAX, Antonín BRABLEC, Josef KUBĚNA a Václav HOLÝ. Spektrální elipsometrická charakterizace tenkých epitaxních vrstev Si_(1-x)Ge_x. In 1st Int. Conf. on Materials for Microelectronics. Barcelona: University of Barcelona. s. 23-27. 1994.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Spektrální elipsometrická charakterizace tenkých epitaxních vrstev Si_(1-x)Ge_x
Název anglicky Spectroellipsometric characterization of thin epitaxial Si_(1-x)Ge_x lazers
Autoři LÍBEZNÝ, Milan, M. CAYMAX, Antonín BRABLEC (203 Česká republika), Josef KUBĚNA (203 Česká republika) a Václav HOLÝ (203 Česká republika).
Vydání Barcelona, 1st Int. Conf. on Materials for Microelectronics, s. 23-27, 1994.
Nakladatel University of Barcelona
Další údaje
Typ výsledku Kapitola resp. kapitoly v odborné knize
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/94:00003746
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Změnil Změnil: prof. RNDr. Václav Holý, CSc., učo 1656. Změněno: 20. 5. 2003 14:58.
Návaznosti
MSM 143100003, záměrNázev: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 20. 4. 2024 05:56