Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu

JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL a Zdeněk BOCHNÍČEK. Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu. In 17th Symp. on Plasma Physics and Technology. Praha: ČVUT. s. 275-277. ISBN 80-010-1344-8. 1995.

Základní údaje

• Originální název: Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu
• Název anglicky: RF plasma deposition and characterization of organosilicon thin films from TEOS + O2 gas mixture
• Autoři: JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL a Zdeněk BOCHNÍČEK.
• Vydání: Praha, 17th Symp. on Plasma Physics and Technology, s. 275-277, 1995.
• Nakladatel: ČVUT

Další údaje

• Typ výsledku: Kapitola resp. kapitoly v odborné knize
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/95:00000353
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 80-010-1344-8

Návaznosti

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek