Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@inbook{197264, author = {Janča, Jan and Navrátil, Karel and Bochníček, Zdeněk}, address = {Praha}, booktitle = {17th Symp. on Plasma Physics and Technology}, location = {Praha}, isbn = {80-010-1344-8}, pages = {275-277}, publisher = {ČVUT}, title = {Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu}, year = {1995} }
TY - CHAP ID - 197264 AU - Janča, Jan - Navrátil, Karel - Bochníček, Zdeněk PY - 1995 TI - Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu PB - ČVUT CY - Praha SN - 8001013448 ER -
JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL and Zdeněk BOCHNÍČEK. Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu (RF plasma deposition and characterization of organosilicon thin films from TEOS + O2 gas mixture). In \textit{17th Symp. on Plasma Physics and Technology}. Praha: ČVUT, 1995, p.~275-277. ISBN~80-010-1344-8.
|