J 1995

Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2

JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL, Zdeněk BOCHNÍČEK and V. PEŘINA

Basic information

Original name

Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2

Authors

JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL, Zdeněk BOCHNÍČEK and V. PEŘINA

Edition

Czechoslovak Journal of Physics, Praha, Academia, 1995, 0011-4626

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/95:00000354

Organization unit

Faculty of Science
Změněno: 22/3/2000 16:28, prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.

Links

MSM 143100003, plan (intention)
Name: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study of plasmachemical reactions in non-isothermic low pressure plasma and its interaction with the surface of solid substrates