JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL, Zdeněk BOCHNÍČEK a V. PEŘINA. Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2. Czechoslovak Journal of Physics. Praha: Academia, 1995, roč. 45, č. 10, s. 851-862. ISSN 0011-4626. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
@article{197265, author = {Janča, Jan and Navrátil, Karel and Bochníček, Zdeněk and Peřina, V.}, article_location = {Praha}, article_number = {10}, language = {eng}, issn = {0011-4626}, journal = {Czechoslovak Journal of Physics}, title = {Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2}, volume = {45}, year = {1995} }
TY - JOUR ID - 197265 AU - Janča, Jan - Navrátil, Karel - Bochníček, Zdeněk - Peřina, V. PY - 1995 TI - Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2 JF - Czechoslovak Journal of Physics VL - 45 IS - 10 SP - 851 EP - 851 PB - Academia SN - 00114626 ER -
JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL, Zdeněk BOCHNÍČEK a V. PEŘINA. Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2. \textit{Czechoslovak Journal of Physics}. Praha: Academia, 1995, roč.~45, č.~10, s.~851-862. ISSN~0011-4626.
|