D 1998

ECR plasma deposition of thin films

ČEŠKA, Zbyněk, Jan JANČA and M. DVOŘÁK

Basic information

Original name

ECR plasma deposition of thin films

Authors

ČEŠKA, Zbyněk, Jan JANČA and M. DVOŘÁK

Edition

1. vyd. Praha, WDS 98, p. 327-331, 1998

Publisher

Karlova univerzita, Praha

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

80-85863-29-4

Keywords in English

ECR plasma; thin films

Tags

Změněno: 17/6/1999 14:10, prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.