Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm.

PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK and Marek HAVLÍČEK. Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm. (Antireflection coating on the substrate in specification: T>=99,8 % at 248 nm and T>=98,5 % at 213 nm.). 2020.

Basic information

Original name

Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm.

Name (in English)

Antireflection coating on the substrate in specification: T>=99,8 % at 248 nm and T>=98,5 % at 213 nm.

Authors

PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK and Marek HAVLÍČEK

Edition

2020

---

Other information

Type of outcome

Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organization unit

Faculty of Science

Keywords in English

DUV Coating, high transmission, Al2O3, SiO2

---

Abstract

V originále

Antireflexní vrstvy vyrobené kombinací vysokoindexového materiálu Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2 splňující následující specifikace v hluboké ultrafialové oblasti, vrstva 1: T>=99,8 % @248 nm, vrstva 2: T>=98,5 % @213 nm

In English

Antireflection coating layers fabricated in combination of high index Al2O3 and low index SiO2 materials with following specification in deep ultraviolet region, design 1: T>=99,8 % at 248 nm and design 2: T>=98,5 % at 213 nm

---

Links

FV40328, research and development project

Name: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra Investor: Ministry of Industry and Trade of the CR