PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Jan DVOŘÁK, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK and Marek HAVLÍČEK. Vysoceodrazná vrstva na substrátu ve specifikaci R >= 98,5 % @ 248 nm a R >= 98 % @ 213 nm pro úhel dopadu 45. (High reflection coating on the glass substrate within two specifications R >= 98,5% @ 248 nm for angle of incidence 45, and R >= 98% @ 213 nm for angle of incidence 45.). 2021. |
Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@techreport{2267878, author = {Pekař, Václav and Březina, Jaromír and Škoda, David and Ohlídal, Ivan and Vohánka, Jiří and Franta, Daniel and Franta, Pavel and Dvořák, Jan and Ohlídal, Miloslav and Šulc, Václav and Klapetek, Petr and Havlíček, Marek}, keywords = {DUV Coating, DUV HR coating, PARMS technology, Magnetron sputtering}, title = {Vysoceodrazná vrstva na substrátu ve specifikaci R >= 98,5 % @ 248 nm a R >= 98 % @ 213 nm pro úhel dopadu 45.}, year = {2021} }
TY - ID - 2267878 AU - Pekař, Václav - Březina, Jaromír - Škoda, David - Ohlídal, Ivan - Vohánka, Jiří - Franta, Daniel - Franta, Pavel - Dvořák, Jan - Ohlídal, Miloslav - Šulc, Václav - Klapetek, Petr - Havlíček, Marek PY - 2021 TI - Vysoceodrazná vrstva na substrátu ve specifikaci R >= 98,5 % @ 248 nm a R >= 98 % @ 213 nm pro úhel dopadu 45. KW - DUV Coating, DUV HR coating, PARMS technology, Magnetron sputtering N2 - Realizace vysoce odrazných vrstev splňující požadavky na odrazivost ve vlnových délkách hluboké ultrafialové oblasti a to 213 nm nebo 248 nm. Vrstvy pro vlnovou délku 213 nm byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů Al2O3 a SiO2. Vrstvy pro vlnovou délku 248 nm byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů HfO2 a SiO2. Parametry odrazivosti dosahují hodnot R(213 nm) > 99,5 % , R(248 nm) > 98,9 %. ER -
PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Jan DVOŘÁK, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK and Marek HAVLÍČEK. \textit{Vysoceodrazná vrstva na substrátu ve specifikaci R \&{}gt;= 98,5 \%{} @ 248 nm a R \&{}gt;= 98 \%{} @ 213 nm pro úhel dopadu 45. (High reflection coating on the glass substrate within two specifications R \&{}gt;= 98,5\%{} @ 248 nm for angle of incidence 45, and R \&{}gt;= 98\%{} @ 213 nm for angle of incidence 45.)}. 2021.
|