Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm.

PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Jan DVOŘÁK, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK and Marek HAVLÍČEK. Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm. (Set of beam splitters coating in specification with parameters of the first beam splitter Rp = 50% ± 3% @248 nm; and second beamsplitter Rp = <0.4; 0.75> and Rs < 1 % at a wavelength of 248 nm and increased transmittance in the region from 630 nm to 670). 2022.

Basic information

• Original name: Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm.
• Name (in English): Set of beam splitters coating in specification with parameters of the first beam splitter Rp = 50% ± 3% @248 nm; and second beamsplitter Rp = <0.4; 0.75> and Rs < 1 % at a wavelength of 248 nm and increased transmittance in the region from 630 nm to 670
• Authors: PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Jan DVOŘÁK, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK and Marek HAVLÍČEK.
• Edition: 2022.

Other information

• Type of outcome: Outcomes put into operation (prototype, working sample)
• Confidentiality degree: is not subject to a state or trade secret
• Keywords in English: DUV Coating, DUV Beam splitter, PARMS technology, Magnetron sputtering

Abstract

Realizace děličů světla splňující požadavky odrazivosti a propustnosti na pracovní vlnové délce 248 nm a inspekční vlnové délce v intervalu <630, 670> nm. Vrstvy prvního děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů HfO2/SiO2 a splňují specifikaci: propustnost pro p-složku 50 % ± 3 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 50 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách od 630 nm do 670 nm. Vrstvy druhého děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů Al2O3/SiO2 a splňují specifikaci průměrná propustnost vyšší než 98,5 %, odrazivost pro p-složku v rozmezí od 0,4 % do 0,75 % a odrazivost pro s-složku menší než 1 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 25 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách 630 nm až 670 nm.

Abstract (in English)

Realization of beam splitters meeting the requirements of reflectivity and transmittance at the working wavelength of 248 nm and the inspection wavelength in the interval <630, 670> nm. The layers of the first beam splitter were prepared by magnetron sputtering technology using a combination of HfO2/SiO2 materials and meet the specification: transmittance for the p-component 50 % ± 3 % at an incidence angle of 45° ± 3° at a wavelength of 248 nm and at the same time reflectivity for the s-component 50 % ± 5 % at an incidence angle of 45° ± 3° in wavelengths from 630 nm to 670 nm. The coating of the second divider was provide by magnetron sputtering technology with a combination of Al2O3/SiO2 materials and meet the specification of an average transmittance higher than 98.5 %, a reflectance for the p-component ranging from 0.4% to 0.75% and a reflectance for the s-component less than 1 % at an angle of incidence of 45° ± 3° at a wavelength of 248 nm and at the same time a reflectance for the s-component of 25 % ± 5 % at an angle of incidence of 45° ± 3° in wavelengths of 630 nm to 670 nm.

Links

• FV40328, research and development project: Name: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra

Investor: Ministry of Industry and Trade of the CR