Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@techreport{2267879, author = {Pekař, Václav and Březina, Jaromír and Škoda, David and Ohlídal, Ivan and Vohánka, Jiří and Franta, Daniel and Franta, Pavel and Dvořák, Jan and Ohlídal, Miloslav and Šulc, Václav and Klapetek, Petr and Havlíček, Marek}, keywords = {DUV Coating, DUV Beam splitter, PARMS technology, Magnetron sputtering}, title = {Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm.}, year = {2022} }
TY - ID - 2267879 AU - Pekař, Václav - Březina, Jaromír - Škoda, David - Ohlídal, Ivan - Vohánka, Jiří - Franta, Daniel - Franta, Pavel - Dvořák, Jan - Ohlídal, Miloslav - Šulc, Václav - Klapetek, Petr - Havlíček, Marek PY - 2022 TI - Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm. KW - DUV Coating, DUV Beam splitter, PARMS technology, Magnetron sputtering N2 - Realizace děličů světla splňující požadavky odrazivosti a propustnosti na pracovní vlnové délce 248 nm a inspekční vlnové délce v intervalu <630, 670> nm. Vrstvy prvního děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů HfO2/SiO2 a splňují specifikaci: propustnost pro p-složku 50 % ± 3 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 50 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách od 630 nm do 670 nm. Vrstvy druhého děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů Al2O3/SiO2 a splňují specifikaci průměrná propustnost vyšší než 98,5 %, odrazivost pro p-složku v rozmezí od 0,4 % do 0,75 % a odrazivost pro s-složku menší než 1 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 25 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách 630 nm až 670 nm. ER -
PEKAŘ, Václav, Jaromír BŘEZINA, David ŠKODA, Ivan OHLÍDAL, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA, Pavel FRANTA, Jan DVOŘÁK, Miloslav OHLÍDAL, Václav ŠULC, Petr KLAPETEK and Marek HAVLÍČEK. \textit{Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 \%{} ± 3 \%{} @248 nm; druhého děliče Rp = \&{}lt;0,4; 0,75\&{}gt; a Rs \&{}lt; 1 \%{} na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm. (Set of beam splitters coating in specification with parameters of the first beam splitter Rp = 50\%{} ± 3\%{} @248 nm; and second beamsplitter Rp = \&{}lt;0.4; 0.75\&{}gt; and Rs \&{}lt; 1 \%{} at a wavelength of 248 nm and increased transmittance in the region from 630 nm to 670)}. 2022.
|