J 2023

Temporal, spatial and spectroscopic study of plasma emission on Cu target in bipolar HiPIMS

KLEIN, Peter, Jaroslav HNILICA, Daniel LUNDIN, Pavel DVOŘÁK, Michal ZANÁŠKA et. al.

Základní údaje

Originální název

Temporal, spatial and spectroscopic study of plasma emission on Cu target in bipolar HiPIMS

Autoři

KLEIN, Peter (703 Slovensko, domácí), Jaroslav HNILICA (203 Česká republika, domácí), Daniel LUNDIN, Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika, domácí), Michal ZANÁŠKA, Ulf HELMERSSON a Petr VAŠINA (203 Česká republika, domácí)

Vydání

Plasma Sources Science and Technology, IOP Publishing Ltd, 2023, 0963-0252

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 3.800 v roce 2022

Kód RIV

RIV/00216224:14310/23:00131367

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

DOI

http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ace8b8

UT WoS

001041303300001

Klíčová slova anglicky

bipolar HiPIMS; fast camera screening; plasma diagnostics; emission spectroscopy; HiPIMS

Štítky

rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 21. 2. 2024 15:21, Mgr. Marie Šípková, DiS.

Anotace

V originále

Bipolar high power impulse magnetron sputtering introduces new possibilities to affect positive ions created during the negative discharge pulse in order to tailor thin films with specific parameters. This paper studies plasma emission in different experimental conditions during different phases of the positive pulse with spectral, spatial and temporal resolution. It is found that predominantly the working gas gives rise to plasma emission during the positive pulse. The plasma emission is observed only in regions of low magnetic confinement, forming a 'mushroom-like' shape in the middle of the target or a 'dome-like' shape on the outer parts of the target. An explanation of the discharge kinetics is proposed based on the acquired data.

Návaznosti

90239, velká výzkumná infrastruktura
Název: CEPLANT II
Zobrazeno: 28. 10. 2024 21:46