FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs

BŘEZINA, Jaromír, Václav PEKAŘ, David ŠKODA, Jan VANDA, Mihai-George MURESAN, Priyadarshani NARAYANASAMY, Martin MYDLÁŘ, Ivan OHLÍDAL, Jan DVOŘÁK, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA and Pavel FRANTA. FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs (FV0343AR – optical element with AR coating for λ = 343nm, R < 0.2%, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 for 900fs pulses). 2023.

Basic information

Original name

FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs

Name (in English)

FV0343AR – optical element with AR coating for λ = 343nm, R < 0.2%, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 for 900fs pulses

Authors

BŘEZINA, Jaromír, Václav PEKAŘ, David ŠKODA, Jan VANDA, Mihai-George MURESAN, Priyadarshani NARAYANASAMY, Martin MYDLÁŘ, Ivan OHLÍDAL, Jan DVOŘÁK, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA and Pavel FRANTA

Edition

2023

---

Other information

Language

Czech

Type of outcome

Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)

Field of Study

10306 Optics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

obsah podléhá obchodnímu tajemství

Organization unit

Faculty of Science

Keywords in English

e-gun evaporation with plasma assistence; dielectric coating; LIDT - Laser Induced Damage Threshold

Technical parameters

Laserově odolná antireflexní vrstva kombinující technologii HfO2/SiO2 deponovaných technologií elektronového napařování. Hranice odolnosti vrstev je vyšší než 0,65 J/cm2, ověřeno na pulzním laseru vlnové délky 343 nm, šířky pulzu 900 fs a opakovací frekvenci 1 000 Hz. Odolnost byla stanovena pro 100 000 pulzů.

---

Abstract

V originále

Laserově odolná antireflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 (v ArF grade kvalitě) s nanesenou vrstvou kombinující HfO2/SiO2 technologií napařování pomocí elektronového děla za asistenceplasmatu. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu > 0,65 J/cm2 pro pulsní laser λ = 343 nm, šířka pulsu 900 fs a opakovací frekvence 1 000 Hz, certifikováno ISO 21254-2.

In English

Laser-resistant durable antireflective coating on witness glass Corning HPFS 7980 (in ArF grade quality) coated with layers combining HfO2/SiO2 evaporation technology using an electron gun with plasma assistance. The LIDT laser induced damage threshold was determined to be > 0.65 J/cm2 for a pulsed laser λ = 343 nm, pulse width 900 fs and repetition rate 1000 Hz, certified to ISO 21254-2.