BŘEZINA, Jaromír, Václav PEKAŘ, David ŠKODA, Jan VANDA, Mihai-George MURESAN, Priyadarshani NARAYANASAMY, Martin MYDLÁŘ, Ivan OHLÍDAL, Jan DVOŘÁK, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA and Pavel FRANTA. FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs (FV0343AR – optical element with AR coating for λ = 343nm, R < 0.2%, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 for 900fs pulses). 2023. |
Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@techreport{2394202, author = {Březina, Jaromír and Pekař, Václav and Škoda, David and Vanda, Jan and Muresan, MihaiandGeorge and Narayanasamy, Priyadarshani and Mydlář, Martin and Ohlídal, Ivan and Dvořák, Jan and Vohánka, Jiří and Franta, Daniel and Franta, Pavel}, keywords = {e-gun evaporation with plasma assistence; dielectric coating; LIDT - Laser Induced Damage Threshold}, language = {cze}, institution = {Meopta - optika, s.r.o.}, organization = {Meopta - optika, s.r.o.}, title = {FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs}, year = {2023} }
TY - ID - 2394202 AU - Březina, Jaromír - Pekař, Václav - Škoda, David - Vanda, Jan - Muresan, Mihai-George - Narayanasamy, Priyadarshani - Mydlář, Martin - Ohlídal, Ivan - Dvořák, Jan - Vohánka, Jiří - Franta, Daniel - Franta, Pavel PY - 2023 TI - FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs KW - e-gun evaporation with plasma assistence KW - dielectric coating KW - LIDT - Laser Induced Damage Threshold N2 - Laserově odolná antireflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 (v ArF grade kvalitě) s nanesenou vrstvou kombinující HfO2/SiO2 technologií napařování pomocí elektronového děla za asistenceplasmatu. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu > 0,65 J/cm2 pro pulsní laser λ = 343 nm, šířka pulsu 900 fs a opakovací frekvence 1 000 Hz, certifikováno ISO 21254-2. ER -
BŘEZINA, Jaromír, Václav PEKAŘ, David ŠKODA, Jan VANDA, Mihai-George MURESAN, Priyadarshani NARAYANASAMY, Martin MYDLÁŘ, Ivan OHLÍDAL, Jan DVOŘÁK, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA and Pavel FRANTA. \textit{FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R \&{}lt; 0,2 \%{}, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence \&{}gt; 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs (FV0343AR – optical element with AR coating for λ = 343nm, R \&{}lt; 0.2\%{}, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence \&{}gt; 0,3 J/cm2 for 900fs pulses)}. 2023.
|