J 2000

Analysis of thin films by optical multi-sample methods

FRANTA, Daniel a Ivan OHLÍDAL

Základní údaje

Originální název

Analysis of thin films by optical multi-sample methods

Autoři

FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant) a Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika)

Vydání

Acta Physica Slovaca, Bratislava, Institute of Physics, SAS, 2000, 0323-0465

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 0.465

Kód RIV

RIV/00216224:14310/00:00002317

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000088911400003
Změněno: 22. 12. 2003 00:38, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

V originále

In this paper a brief review of the optical methods based on the simultaneous interpretation of the different optical experimental data obtained for thin film systems is presented. These methods are known as the multi-sample methods. It is shown that these optical multi-sample methods are very useful for analyzing many thin film systems. In particular it is illustrated that selected optical multi-sample methods are powerful for studying the following problems: investigations of growing the native oxide layers on the semiconductor surfaces; suppression of the influence of the transition interlayers between the substrates and thin films and determination of the optical constants of bulk materials. Concrete experimental examples demonstrating the foregoing statements are presented in this paper as well.

Návaznosti

GA202/98/0988, projekt VaV
Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
GV106/96/K245, projekt VaV
Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
VS96084, projekt VaV
Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
Zobrazeno: 15. 11. 2024 17:37