Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge

ELIÁŠ, Marek, Vít KUDRLE, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA. Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge. In SAPP 13th Symposium Proceedings. Bratislava: MFF UK, 2001, s. 83-84. ISBN 80-223-1573-7.

Základní údaje

• Originální název: Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge
• Autoři: ELIÁŠ, Marek (203 Česká republika), Vít KUDRLE (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika, garant).
• Vydání: Bratislava, SAPP 13th Symposium Proceedings, s. 83-84, 2001.
• Nakladatel: MFF UK

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Slovensko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/01:00002885
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 80-223-1573-7
• Klíčová slova anglicky: Optical diagnostics; inductively coupled RF discharge
• Štítky: inductively coupled RF discharge, optical diagnostics
• Příznaky: Mezinárodní význam

Anotace

Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge

Návaznosti

• GP202/01/P106, projekt VaV: Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie

Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie

• GV106/96/K245, projekt VaV: Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

• ME 301, projekt VaV: Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev

• ME 367, projekt VaV: Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

• OC 527.20, projekt VaV: Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

• VS96084, projekt VaV: Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze