Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku
| DVOŘÁK, Pavel, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Vilma BURŠÍKOVÁ. Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku. In Materiálové vědy na prahu 3. milénia. Brno: Vysoké učení technické v Brně, FSE, UMI, 1999, s. 314-315. ISBN 80-214-1376-X. |
|
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
| Základní údaje | |
|---|---|
| Originální název | Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku |
| Název anglicky | PECVD of protection coatings containing carbon |
| Autoři | DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant). |
| Vydání | Brno, Materiálové vědy na prahu 3. milénia, s. 314-315, 1999. |
| Nakladatel | Vysoké učení technické v Brně, FSE, UMI |
| Další údaje | |
|---|---|
| Originální jazyk | čeština |
| Typ výsledku | Stať ve sborníku |
| Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
| Stát vydavatele | Česká republika |
| Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
| Kód RIV | RIV/00216224:14310/99:00004161 |
| Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
| ISBN | 80-214-1376-X |
| Klíčová slova anglicky | PECVD; carbon; DLC; DLC:Si |
| Štítky | Carbon, DLC, DLC:Si, PECVD |
| Změnil | Změnila: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Změněno: 8. 2. 2008 19:49. |
| Anotace |
|---|
| Z plazmatu kapacitně vázaného vf. výboje jsme deponovali tenké vrstvy na bázi uhlíku. Srovnávali jsme optické vlastnosti vrstev deponovaných ze směsi metanu a argonu s vrstvami deponovanými ze směsi HMDSO + metan a HMDSO + metan + Ar. |
| Anotace anglicky |
|---|
| Carbon films were deposited in capacitively coupled rf glow discharge from several different mixtures on silicon substrates. We compared optical properties in UV-VIS range of diamond like films deposited from mixture of methane and argon with these for carbon films deposited from HMDSO/methane and HMDSO/methane/Ar feeds. |
| Návaznosti | |
|---|---|
| GV106/96/K245, projekt VaV | Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy |
| Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy | |
| VS96084, projekt VaV | Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze | |
VytisknoutZobrazeno: 30. 9. 2024 22:07