Detailed Information on Publication Record
1999
Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku
DVOŘÁK, Pavel, Lenka ZAJÍČKOVÁ and Vilma BURŠÍKOVÁBasic information
Original name
Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku
Name (in English)
PECVD of protection coatings containing carbon
Authors
DVOŘÁK, Pavel (203 Czech Republic), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic) and Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic, guarantor)
Edition
Brno, Materiálové vědy na prahu 3. milénia, p. 314-315, 1999
Publisher
Vysoké učení technické v Brně, FSE, UMI
Other information
Language
Czech
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
RIV identification code
RIV/00216224:14310/99:00004161
Organization unit
Faculty of Science
ISBN
80-214-1376-X
Keywords in English
PECVD; carbon; DLC; DLC:Si
Změněno: 8/2/2008 19:49, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
V originále
Z plazmatu kapacitně vázaného vf. výboje jsme deponovali tenké vrstvy na bázi uhlíku. Srovnávali jsme optické vlastnosti vrstev deponovaných ze směsi metanu a argonu s vrstvami deponovanými ze směsi HMDSO + metan a HMDSO + metan + Ar.
In English
Carbon films were deposited in capacitively coupled rf glow discharge from several different mixtures on silicon substrates. We compared optical properties in UV-VIS range of diamond like films deposited from mixture of methane and argon with these for carbon films deposited from HMDSO/methane and HMDSO/methane/Ar feeds.
Links
| GV106/96/K245, research and development project |
| ||
| VS96084, research and development project |
|