Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly

OHLÍDAL, Ivan, Daniel FRANTA and Petr KLAPETEK. Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly (Measurement of Basic Statistical Quantities of Statistical Roughness by Atomic Force Microscopy). Československý časopis pro fyziku. Praha: Fyzikální ústav AV ČR, 2001, vol. 51, No 1, p. 16-21. ISSN 0009-0700.

Basic information

• Original name: Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly
• Name (in English): Measurement of Basic Statistical Quantities of Statistical Roughness by Atomic Force Microscopy
• Authors: OHLÍDAL, Ivan (203 Czech Republic, guarantor), Daniel FRANTA (203 Czech Republic) and Petr KLAPETEK (203 Czech Republic).
• Edition: Československý časopis pro fyziku, Praha, Fyzikální ústav AV ČR, 2001, 0009-0700.

Other information

• Original language: Czech
• Type of outcome: Article in a journal
• Field of Study: 10302 Condensed matter physics
• Country of publisher: Czech Republic
• Confidentiality degree: is not subject to a state or trade secret
• WWW: URL
• RIV identification code: RIV/00216224:14310/01:00004318
• Organization unit: Faculty of Science

Abstract

V tomto článku je podán přehled statistických veličin charakterizujících náhodně drsné povrchy, které jsou významné z hlediska praxe. Dále jsou popsány způsoby měření těchto veličin pomocí mikroskopie atomové síly. Tyto způsoby jsou ilustrovány prostřednictvím výsledků dosažených na náhodně drsných površích monokrystalu křemíku. Je také provedena diskuse chyb, které mohou ovlivnit hodnoty statistických veličin určených pomocí mikroskopie atomové síly. Výsledky dosažené u náhodně drsných povrchů křemíku užitím této techniky jsou srovnány s výsledky dosaženými pomocí optické metody.

Abstract (in English)

In this paper a rewiev of the statistical quantities of randomly rough surfaces important from the practical point of view is presented. Further, procedures of measuring these quantities using atomic force microscopy (AFM) are described. The procedures are illustrated by means of the results achieved for randomly rough surfaces of silicon single crystal. A discussion of the errors having an influence on the values of the statistical quantities measured using AFM is presented as well. The results obtained for the rough silicon single crystal surfaces using AFM are compared with those achieved for these surfaces by optical methods.

Links

• GA202/98/0988, research and development project: Name: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod

Investor: Czech Science Foundation, Characterization of multilayer systems with randomly rough boundaries by means of optical and X - ray methods