Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy

FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Petr KLAPETEK, Pavel POKORNÝ a Miloslav OHLÍDAL. Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy. Surface and Interface Analysis. USA: John Wiley & Sons, roč. 32, č. 1, s. 91-94. ISSN 0142-2421. 2001.

Základní údaje

• Originální název: Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy
• Autoři: FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika), Pavel POKORNÝ (203 Česká republika) a Miloslav OHLÍDAL (203 Česká republika).
• Vydání: Surface and Interface Analysis, USA, John Wiley & Sons, 2001, 0142-2421.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Spojené státy
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• WWW: URL
• Impakt faktor: Impact factor: 0.987
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/01:00004374
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000170551800020
• Klíčová slova anglicky: inhomogeneous ZrO2 films; optical characterization; AFM
• Štítky: AFM, inhomogeneous ZrO2 films, optical characterization

Anotace

In this paper results concerning the complete optical analysis of inhomogeneous ZrO2-films are introduced. The optical analysis of these films is carried out using the combined optical method based on interpreting experimental data corresponding to variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal incidence spectroscopic reflectometry (NNSR). The model of the ZrO2-films used for the interpretation of the experimental data achieved using the combined method exhibits the continuous refractive index profile. It is shown that this model is satisfactory for treating the experimental data. Further, it is shown that all the parameters characterizing the model mentioned can be determined with a hight accuracy. By means of atomic force microscopy (AFM) it is found that the upper boundaries of the inhomogeneous ZrO2-films are slightly rough. The values of the basic statistical quantities characterizing this boundary roughness are evaluated using the treatment of AFM data. The optical inhomogeneity of the ZrO2-films studied is explained by the existence of the columnar structure of these films.

Návaznosti

• GA101/98/0772, projekt VaV: Název: Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev

Investor: Grantová agentura ČR, Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev

• GA202/98/0988, projekt VaV: Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod

Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod

• GV106/96/K245, projekt VaV: Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

• VS96084, projekt VaV: Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze