D 2001

Stanovení povrchové energie tenkých vrstev nanášených v plazmatu vysokofrekvenčního výboje

PRYČKOVÁ, Jana, Deepak Prasad SUBEDI, Vilma BURŠÍKOVÁ, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Oto BRZOBOHATÝ et. al.

Basic information

Original name

Stanovení povrchové energie tenkých vrstev nanášených v plazmatu vysokofrekvenčního výboje

Name (in English)

Determination of Surface Energy of Plasma Deposited Thin Films

Authors

PRYČKOVÁ, Jana, Deepak Prasad SUBEDI (524 Nepal), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic, guarantor), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic) and Oto BRZOBOHATÝ (203 Czech Republic)

Edition

1. vyd. Brno, JUNIORMAT 01, p. 230-231, 2001

Publisher

ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie

Other information

Language

Czech

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/01:00004508

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

80-214-1885-0

Keywords in English

Contact angle measurement; surface energy; microhardness; PECVD; Diamond-like carbon

Tags

Změněno: 8/2/2008 20:07, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Abstract

ORIG EN

V originále

Plazmochemickou depozicí jsme připravili amorfní diamantu podobné ochranné vrstvy ze směsi metanu a hexamethyldisiloxanu. Na základě měření kontaktního úhlu jsme učili volnou povrchovou energii připravených vrstev. Kontaktní úhel byl stanoven metodou založenou na CCD kamerou nasnímaném profilu kapky a metodou využívající difrakce laserového paprsku v bodě styku kapaliny s pevným povrchem. Ukázali jsme, že přidáním HMDSO do smesi pro plazmovou depozici lze modifikovat volnou povrchovou energii a mechanické vlastnosti vrstev.

In English

The aim of the present work is to characterise plasma deposited silicon containing diamond-ĺike films (DLC) by two experimental methods: by means of the commercial device equipped with CCD camera and by the method using a laser beam for the contact angle measurement. We found out, that addition of hexamethyldisiloxane into the gas mixture for DLC film deposition gives the possibility to modify the the wetting, sticking and mechanical properties of DLC films.

Links

GA202/00/P037, research and development project
Name: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
Investor: Czech Science Foundation, Plasma deposition of protective coatings: characterisation of prepared films and diagnostics of reactive plasmas used
MSM 143100003, plan (intention)
Name: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study of plasmachemical reactions in non-isothermic low pressure plasma and its interaction with the surface of solid substrates
OC 527.20, research and development project
Name: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Plasmachemical depositions and plasmachemical treatment of surfaces of solid state substrate