B 2002

Advanced methods for deposition of thin films: monitoring, properties, application

BRABLEC, Antonín, Jiří BUCHTA, Vilma BURŠÍKOVÁ, Ondřej JAŠEK, Vít KUDRLE et. al.

Basic information

Original name

Advanced methods for deposition of thin films: monitoring, properties, application

Authors

BRABLEC, Antonín (203 Czech Republic, guarantor), Jiří BUCHTA (203 Czech Republic), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic), Ondřej JAŠEK (203 Czech Republic), Vít KUDRLE (203 Czech Republic), Pavel SLAVÍČEK (203 Czech Republic), David TRUNEC (203 Czech Republic) and Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic)

Edition

Tomsk, 157 pp. Tomsk series, 2002

Publisher

E.T.Protasevich

Other information

Language

English

Type of outcome

Odborná kniha

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Russian Federation

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14330/02:00005794

Organization unit

Faculty of Informatics

Keywords in English

thin films; plasma deposition

Tags

Tags

International impact
Změněno: 5/1/2007 12:49, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Abstract

V originále

Advanced methods for deposition of thin films: monitoring, properties, application

Links

GP202/01/P017, research and development project
Name: Spektrální a optická diagnostika vf-výbojů hořících za atmosferického tlaku
Investor: Czech Science Foundation, Spectroscopic and optical diagnostics of rf-discharges burning at atmospheric pressure
GP202/01/P106, research and development project
Name: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
Investor: Czech Science Foundation, Study of plasmachemical processes using microwave and optical spectroscopy
ME 301, research and development project
Name: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Development and Industrialization of Novel Superhard Nanocrystalline Composite Wear Protective Coatings
ME 367, research and development project
Name: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Research and development and industrializartion of novel super hard nanocrystalline materials
MSM 143100003, plan (intention)
Name: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study of plasmachemical reactions in non-isothermic low pressure plasma and its interaction with the surface of solid substrates
OC 527.20, research and development project
Name: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Plasmachemical depositions and plasmachemical treatment of surfaces of solid state substrate