J 2001

X-ray reflectivity study of a W/Si multilayer grating

JERGEL, M., C. FALCONY, Petr MIKULÍK, L. ORTEGA, E. MAJKOVÁ et. al.

Základní údaje

Originální název

X-ray reflectivity study of a W/Si multilayer grating

Autoři

JERGEL, M. (703 Slovensko), C. FALCONY (484 Mexiko), Petr MIKULÍK (203 Česká republika, garant), L. ORTEGA (250 Francie), E. MAJKOVÁ (703 Slovensko), E. PINČÍK (703 Slovensko), Š. LUBY (703 Slovensko), I. KOSTIČ (703 Slovensko) a P. HUDEK (703 Slovensko)

Vydání

Superficies y Vacío, Mexico, Sociedad Mexicana de Ciencia de Superfic, 2001, 1665-3521

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Mexiko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Kód RIV

RIV/00216224:14310/01:00006979

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

reflectivity; xrr; x-uv optics; gratings; w/si; x-ray

Štítky

gratings, reflectivity, w/si, x-ray, x-uv optics, xrr
Změněno: 27. 5. 2003 10:23, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Anotace

V originále

Multilayer gratings are artificially patterned multilyer thin films with the periodicities both in the lateral and normal directions which renders them attracting for microelectronic and optical applications. A proper structural characterization is of primary importance. To test the capability of the X-ray reflectometry technique to fulfil this task, a tungsten/silicon multilayer grating prepared by electron beam evaporation and electron beam lithography was studied both in the coplanar and non-coplanar geometries., the nominal lateral and normal periods being 800 nm and 8 nm, respectively. The coplanar measurements were evaluated within the dynamical theory of X-ray scattering on rough gratings and provided the structural parameters of a real structure with a reasonable precision which are close to the nominal ones. The results revealed also some imperfections of the deposition and masking procedures which are discussed. The non-coplanar measurements were evaluated qualitatively using three-dimensional constructions in the reciprocal space. The advantage of the technique used is its non-destructive character and a simultaneous access both to the surface shape of the grating as well as to its internal structure.

Návaznosti

GA202/99/P064, projekt VaV
Název: Studium morfologie rozhraní epitaxních multivrstev RTG reflexí
Investor: Grantová agentura ČR, Studium morfologie rozhraní epitaxních multivrstev RTG reflexí
MSM 143100002, záměr
Název: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
VS96102, projekt VaV
Název: Laboratoř tenkých vrstev a nanostruktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Laboratoř tenkých vrstev a nanostruktur
Zobrazeno: 15. 11. 2024 05:17