Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů

FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jaroslav HORA and Karel NAVRÁTIL. Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů (Spectroscopic Ellipsometry of Slightly Rough Surfaces). In 12. konference českých a slovenských fyziků. Ostrava: Fyzikální vědecká sekce Jednoty českých matematiků a fyziků, 1996, p. 482-485.

Basic information

Original name

Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů

Name (in English)

Spectroscopic Ellipsometry of Slightly Rough Surfaces

Authors

FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jaroslav HORA and Karel NAVRÁTIL

Edition

Ostrava, 12. konference českých a slovenských fyziků, p. 482-485, 1996

Publisher

Fyzikální vědecká sekce Jednoty českých matematiků a fyziků

---

Other information

Language

Czech

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

References:

URL

Organization unit

Faculty of Science

---

Abstract

V originále

V tomto příspěvku ukážeme, že vztahy pro elipsometrické parametry a odrazivost odvozené v rámci námi zobecněné Rayleigh-Riceovy teorie (RRT) mohou být využity pro analýzu tenkých vrstev se slabě drsnými rozhraními.

In English

In this contribution we will show that equations for ellipsometric quantities and reflectance derived by us generalized Rayleigh-Rice theory (RRT) can be used for analysis of slightly rough thin layers.