| OHLÍDAL, Ivan, Petr KLAPETEK and Daniel FRANTA. Aplikace mikroskopie atomové síly při analýze tenkých vrstev ZnSe a ZnTe (Application of Atomic Force Microscopy for Analysis of ZnSe and ZnTe Thin Films). Československý časopis pro fyziku. Praha: Fyzikální ústav AV ČR, 2003, vol. 53, No 2, p. 97-100. ISSN 0009-0700. |
Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@article{487577,
author = {Ohlídal, Ivan and Klapetek, Petr and Franta, Daniel},
article_location = {Praha},
article_number = {2},
keywords = {AFM; ZnSe; ZnTe},
language = {cze},
issn = {0009-0700},
journal = {Československý časopis pro fyziku},
title = {Aplikace mikroskopie atomové síly při analýze tenkých vrstev ZnSe a ZnTe},
url = {http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/CCF53_97.html},
volume = {53},
year = {2003}
}
TY - JOUR
ID - 487577
AU - Ohlídal, Ivan - Klapetek, Petr - Franta, Daniel
PY - 2003
TI - Aplikace mikroskopie atomové síly při analýze tenkých vrstev ZnSe a ZnTe
JF - Československý časopis pro fyziku
VL - 53
IS - 2
SP - 97-100
EP - 97-100
PB - Fyzikální ústav AV ČR
SN - 00090700
KW - AFM
KW - ZnSe
KW - ZnTe
UR - http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/CCF53_97.html
N2 - Vrstvy polovodičů II-VI hrají významnou roli v oblasti mikroelectroniky a optometrie. Zvláště pak vrstvy ZnSe a ZnTe jsou v praxi aplikovány velmi často. Při těchto aplikacích je většinou vyžadována jejich vysoká kvalita. Proto je nutné mít k dispozici analytické metody umožňující posuzovat kvalitu vrstev ZnSe a ZnTe. Ukazuje se, že metoda mikroskopie atomové síly (AFM) patří mezi ty metody, pomocí nichž lze efektivně studovat defekty ve struktuře zmíněných vrstev. V tomto příspěvku budemme presentovat výsledky týkající se aplikace metody AFM při charakterizaci horních rozhraní tenkých vrstev ZnTe a ZnSe připravených metodou molekulové epitaxe na podložky z monokrystalu GaAs. Ukážeme, že v případě vrstev ZnSe jsou jejich horní rozhraní náhodně drsná a že jsou zároveň pokryta mikroskopickými objekty. Navíc bude provedena kvantitativní analýza drsnosti rozhraní vrstev ZnSe. Do výpočtu kvalitativních charakteristik drsnosti budou zahrnuty i zmíněné objekty, které jsou tvořeny amorfním GaO. Dále ukážeme, že u vrstev ZnTe jsou jejich horní rozhraní komplikovanějšího charakteru než u vrstev ZnSe. Kvantitativní charakterizace morfologie horních rozraní vrstev ZnTe provedená na základě snímků AFM bude rovněž prezentována.
ER -
OHLÍDAL, Ivan, Petr KLAPETEK and Daniel FRANTA. Aplikace mikroskopie atomové síly při analýze tenkých vrstev ZnSe a ZnTe (Application of Atomic Force Microscopy for Analysis of ZnSe and ZnTe Thin Films). \textit{Československý časopis pro fyziku}. Praha: Fyzikální ústav AV ČR, 2003, vol.~53, No~2, p.~97-100. ISSN~0009-0700.
|
