J 2003

New Dispersion Model of the Optical Constants of the DLC Films

FRANTA, Daniel, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Vilma BURŠÍKOVÁ a Ivan OHLÍDAL

Základní údaje

Originální název

New Dispersion Model of the Optical Constants of the DLC Films

Autoři

FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika)

Vydání

Acta Physica Slovaca, Bratislava, Institute of Physics, SAS, 2003, 0323-0465

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 0.579

Kód RIV

RIV/00216224:14310/03:00008252

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000186031700003

Klíčová slova anglicky

Diamond-like Carbon; Ellipsometry; Dispersion Model

Štítky

Diamond-like Carbon, Dispersion model, ellipsometry
Změněno: 28. 11. 2004 18:18, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

V originále

In this paper a new dispersion model of the optical constants of amorphous solids enabled us to perform an efficient parameterization of the optical constants of diamond like carbon (DLC) thin films. The model was based on the mathematical modeling of the density of electronic states (DOS) corresponding to both the valence and conduction bands. Moreover, the existence of the sigma and pi electronic states was taken into account, i.e. two valence and two conduction bands were supposed. The imaginary and real parts of the dielectric function were then calculated by the numerical convolution of the DOS and using a corresponding Kramers-Kronig relation, respectively. According to the model the DOS as well as the optical constants were calculated from ellipsometric measurements in the range 240-830 nm and estimated even outside this range. From the parameters of the model we evaluated also the ratio of pi-to-sigma electrons and consequently the sp3-to-sp2 ratio using a known hydrogen atomic fraction. The optical constants of DLC films with addition of SiOx were determined and compared with DLC too.

Návaznosti

GA202/01/1110, projekt VaV
Název: Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
Investor: Grantová agentura ČR, Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
ME 489, projekt VaV
Název: Studium reaktivity organosilikonových monomerů v depozičním plazmatu
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Zobrazeno: 15. 11. 2024 17:52