FRANCLOVÁ, Jana a Vilma BURŠÍKOVÁ. Electrical conductivity of Si incorporated diamond-like carbon films deposited by PECVD. In Juniormat 2003. 1. vyd. Brno: Brno University of Technology, Faculty of Mechanical Engeneering. s. 266 - 267. ISBN 80-214-2462-1. 2003.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Electrical conductivity of Si incorporated diamond-like carbon films deposited by PECVD
Název česky Elektrická vodivost diamantupodobných vrstev připravených PECVD
Autoři FRANCLOVÁ, Jana (203 Česká republika) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant).
Vydání 1. vyd. Brno, Juniormat 2003, od s. 266 - 267, 2 s. 2003.
Nakladatel Brno University of Technology, Faculty of Mechanical Engeneering
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/03:00021185
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 80-214-2462-1
Klíčová slova anglicky PECVD; HMDSO; Electrical conductivity
Štítky Electrical Conductivity, HMDSO, PECVD
Změnil Změnila: Mgr. Jana Meixnerová, Ph.D., učo 13309. Změněno: 23. 9. 2005 19:46.
Anotace
Electrical conductivity of Si incorporated diamond - like carbon films deposited by PECVD
Anotace česky
Elektrická vodivost tenkých vrstev připravených PECVD
Návaznosti
ME 489, projekt VaVNázev: Studium reaktivity organosilikonových monomerů v depozičním plazmatu
VytisknoutZobrazeno: 29. 3. 2024 14:22