J 2004

Influence of Composition, Exposure and Thermal Annealing on Optical Properties of As-S Chalcogenide Thin Films

OHLÍDAL, Ivan, Daniel FRANTA, Miroslav FRUMAR, Jaroslav JEDELSKÝ, Jaroslav OMASTA et. al.

Basic information

Original name

Influence of Composition, Exposure and Thermal Annealing on Optical Properties of As-S Chalcogenide Thin Films

Name in Czech

Vliv složení, exposice a tepelného zahřívání na optické vlastnosti tenkých vrstev As-S chalkogenidů

Authors

OHLÍDAL, Ivan (203 Czech Republic, guarantor), Daniel FRANTA (203 Czech Republic), Miroslav FRUMAR (203 Czech Republic), Jaroslav JEDELSKÝ (203 Czech Republic) and Jaroslav OMASTA (203 Czech Republic)

Edition

Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, Bucharest, INOE & INFM, 2004, 1454-4164

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

Romania

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

References:

Impact factor

Impact factor: 1.003

RIV identification code

RIV/00216224:14310/04:00011460

Organization unit

Faculty of Science

UT WoS

000220389800017

Keywords in English

As-S chalcogenide films; Ellipsometry; Combined spectrophotometric method; Amorphous materials; Optical constants
Změněno: 3/2/2006 09:05, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Abstract

V originále

In this paper the influence of the technological conditions, i.e. As concentration, UV iradiation and anealing, on the optical constants, thickness and material parameters of chalcogenide As-S thin films is studied. For determining the values of the parameters mentioned the optical method based on interpreting experimental data consiting of spectral dependences of the transmittance measured at normal incidence and spectral dependences of the ellipsometric quantities measured for several incidence angles is used. Within the interpretation of the experimental data the Jellison-Modine dispersion model is employed. It is shown that this dispersion model is not suitable for interpreting the spectral dependences of the transmittance of the films studied. Moreover, within the interpretation of the experimental data the physical model containing on isotropic inhomogeneous layer covered with a non-absorbing overlayer is employed for representing the films under investigation.

In Czech

V článku je studován vliv technologických podmínek, tj. koncentrace As, UV záření a zahřívání, na optické konstanty, tloušťku a materiálové parametry tenkých vrstev chalkogenidů typu As-S. Pro určení hodnot těchto parametrů je využita optická metoda založená na interpretaci experimentálních dat sestávajících se spektrálních závislostí propustnosti měřené při kolmém dopadu světla a spektrálních závislostí elipsometrických veličin měřených v několika úhlech dopadu. V rámci interpretace experimentálních dat je využit Jellison-Modine dispersní model. V práci jsme ukázáno, že tento dispersní model není vhodný pro interpretaci spektrálních závislostí propustnosti studovaných tenkých vrstev. Navíc je při interpretaci experimentálních dat využit fyzikální model obsahující isotropní nehomogenní vrstvu pokrytou neabsorbující povrchovou vrstvou.

Links

GA203/00/0085, research and development project
Name: Optické vlastnosti skel a amorfních tenkých vrstev sulfidů a selenidů
Investor: Czech Science Foundation, Optical properties of glasses and amorphous thin films of sulphides and selenides