Detailed Information on Publication Record
2003
Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor
BUBLAN, Martin, Petr VAŠINA, Ludovic DE POUCQUES, Caroline BOISSE-LAPORTE, Jean-Christophe IMBERT et. al.Basic information
Original name
Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor
Name in Czech
Prostorově rozložení částic v IPVD reactorem
Authors
BUBLAN, Martin (203 Czech Republic), Petr VAŠINA (203 Czech Republic, guarantor), Ludovic DE POUCQUES (250 France), Caroline BOISSE-LAPORTE (250 France), Jean-Christophe IMBERT (250 France) and Michel TOUZEAU (250 France)
Edition
Praha, WDS 03 Proceeding of Contributed Papers, p. 326-329, 4 pp. 2003
Publisher
MARFYZPRESS, vydavatelství Matematicko-fyzikální fakulty University Karlovy v Praze
Other information
Language
English
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
RIV identification code
RIV/00216224:14310/03:00025490
Organization unit
Faculty of Science
ISBN
80-86732-18-5
Keywords in English
optical emission spectroscopy; optical absorption spectroscopy; IPVD; magnetron
Změněno: 23/6/2009 10:02, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
V originále
Results of emission and absorption spectroscopy carried out in the IPVD reactor, consisting of magnetron sputtering device assisted by two antennas of microwave system are presented in this study. The results of the SEM analysis of deposited films are presented too.
In Czech
Výsledky optické emisní a absorpční spektroskopie z reaktoru obsahujícího magnetron a dvě mikrovlnné antény jsou diskutovány společně s výsledky vrstev z rastrovacího elektronového mikroskopu.
Links
| MSM 143100003, plan (intention) |
|