MEŠKO, Marcel, Peter CICMAN, Y. OHTSU, H. FUJITA a Vít KUDRLE. Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma. Journal of physics D: Applied physics. Bristol, England: IOP Publishing Ltd., 2004, roč. 37, č. 3, s. 438-444. ISSN 0022-3727.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma
Název česky Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substart v mikrovlnnem plazmatu
Autoři MEŠKO, Marcel (703 Slovensko, garant, domácí), Peter CICMAN (703 Slovensko), Y. OHTSU (392 Japonsko), H. FUJITA (392 Japonsko) a Vít KUDRLE (203 Česká republika, domácí).
Vydání Journal of physics D: Applied physics, Bristol, England, IOP Publishing Ltd. 2004, 0022-3727.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Velká Británie
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 1.642
Kód RIV RIV/00216224:14310/04:00010375
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000189219800023
Klíčová slova anglicky IEDF; large area microwave plasma; sheath
Štítky IEDF, large area microwave plasma, SHEATH
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560. Změněno: 27. 4. 2013 11:13.
Anotace
Using retarding field energy analyser, we measured ion energy distribution function of positive ions impinging on substrate in microwave plasma
Anotace česky
Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substrat v mikrovlnnem plazmatu
Návaznosti
MSM 143100003, záměrNázev: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Typ Název Vložil/a Vloženo Práva
d4_3_022.pdf   Verze souboru Kudrle, V. 11. 7. 2015

Vlastnosti

Adresa v ISu
https://is.muni.cz/auth/publication/559067/d4_3_022.pdf
Adresa ze světa
https://is.muni.cz/publication/559067/d4_3_022.pdf
Adresa do Správce
https://is.muni.cz/auth/publication/559067/d4_3_022.pdf?info
Ze světa do Správce
https://is.muni.cz/publication/559067/d4_3_022.pdf?info
Vloženo
So 11. 7. 2015 00:30, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Práva

Právo číst
  • kdokoliv v Internetu
Právo vkládat
 
Právo spravovat
  • osoba prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560
  • osoba Mgr. Marcel Meško, Ph.D., učo 68579
Atributy
 

d4_3_022.pdf

Aplikace
Otevřít soubor.
Stáhnout soubor.
Adresa v ISu
https://is.muni.cz/auth/publication/559067/d4_3_022.pdf
Adresa ze světa
http://is.muni.cz/publication/559067/d4_3_022.pdf
Typ souboru
PDF (application/pdf)
Velikost
198,1 KB
Hash md5
cf7342b04ff2652948bd891424d08731
Vloženo
So 11. 7. 2015 00:30

d4_3_022.txt

Aplikace
Otevřít soubor.
Stáhnout soubor.
Adresa v ISu
https://is.muni.cz/auth/publication/559067/d4_3_022.txt
Adresa ze světa
http://is.muni.cz/publication/559067/d4_3_022.txt
Typ souboru
holý text (text/plain)
Velikost
18 KB
Hash md5
1ff208ff784ef9a1fcc7217bc93bf364
Vloženo
So 11. 7. 2015 00:32
Vytisknout
Nahlásit neoprávněně vložený soubor Zobrazeno: 8. 12. 2022 10:57