Informační systém MU
MEŠKO, Marcel, Peter CICMAN, Y. OHTSU, H. FUJITA a Vít KUDRLE. Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma. Journal of physics D: Applied physics. Bristol, England: IOP Publishing Ltd., roč. 37, č. 3, s. 438-444. ISSN 0022-3727. 2004.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma
Název česky Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substart v mikrovlnnem plazmatu
Autoři MEŠKO, Marcel (703 Slovensko, garant, domácí), Peter CICMAN (703 Slovensko), Y. OHTSU (392 Japonsko), H. FUJITA (392 Japonsko) a Vít KUDRLE (203 Česká republika, domácí).
Vydání Journal of physics D: Applied physics, Bristol, England, IOP Publishing Ltd. 2004, 0022-3727.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Velká Británie a Severní Irsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 1.642
Kód RIV RIV/00216224:14310/04:00010375
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000189219800023
Klíčová slova anglicky IEDF; large area microwave plasma; sheath
Štítky IEDF, large area microwave plasma, SHEATH
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560. Změněno: 27. 4. 2013 11:13.
Anotace
Using retarding field energy analyser, we measured ion energy distribution function of positive ions impinging on substrate in microwave plasma
Anotace česky
Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substrat v mikrovlnnem plazmatu
Návaznosti
MSM 143100003, záměrNázev: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Zobrazeno: 29. 3. 2024 06:55