Detailed Information on Publication Record
2004
Infrared Absorption Spectroscopy of Oxygen Precipitates in Nitrogen-doped Czochralski Silicon
ŠTOUDEK, Richard, Michal LORENC and Josef HUMLÍČEKBasic information
Original name
Infrared Absorption Spectroscopy of Oxygen Precipitates in Nitrogen-doped Czochralski Silicon
Name in Czech
Infračervená absorpční spektroskopie kyslíkových precipitátů v dusíkem legovaném Czochralského křemíku
Authors
ŠTOUDEK, Richard (203 Czech Republic, guarantor), Michal LORENC (203 Czech Republic) and Josef HUMLÍČEK (203 Czech Republic)
Edition
Rožnov pod Radhoštěm, Česká republika, Proceedings of The Ninth Scientific and Business Conference SILICON 2004, p. 146-150, 5 pp. 2004
Publisher
TECON Scientific, s.r.o.
Other information
Language
English
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10302 Condensed matter physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
RIV identification code
RIV/00216224:14310/04:00010940
Organization unit
Faculty of Science
Keywords in English
Infrared; Silicon; Oxygen; Precipitates; Nitrogen doping
Tags
Změněno: 10/2/2005 13:44, Mgr. Richard Štoudek, Ph.D.
V originále
We have analysed infrared transmittance spectra of Czochralski silicon. Using measurements at liquid nitrogen temperature we have identified the contribution of oxygen precipitates of different shapes. An effective-medium model of average dielectric constant has been used to determine the shape, volume fraction and stoichiometry of the precipitates. Standard and nitrogen-doped samples have been measured; we have observed a favourable influence of nitrogen on oxygen precipitation.
In Czech
Analyzovali jsme infračervená spektra propustnosti Czochralského křemíku. Díky měrení na teplotě kapalného dusíku jsme identifikovali příspěvek kyslíkových precipitátů různých tvarů. Pro určení tvaru, objemového podílu a stechiometrie precipitátů byl použit model efektivního prostředí. Byly měřeny standartní a dusíkem legované vzorky; pozorovali jsme příznivý vliv dusíku na precipitaci kyslíku.
Links
| MSM 143100002, plan (intention) |
|