Detailed Information on Publication Record
2005
The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation
BRZOBOHATÝ, Oto and David TRUNECBasic information
Original name
The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation
Name in Czech
Role sekundárních elektronů v nizkotlakém rf výboji pomocí počítačové simulace
Authors
BRZOBOHATÝ, Oto (203 Czech Republic, guarantor) and David TRUNEC (203 Czech Republic)
Edition
Podbanske, Slovakia, SAPP XV, p. 135-137, 2 pp. 2005
Publisher
Karol Hensel
Other information
Language
English
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher
Slovakia
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
RIV identification code
RIV/00216224:14310/05:00025502
Organization unit
Faculty of Science
ISBN
80-223-2018-8
Keywords in English
secondary electrons; computer simulation
Změněno: 23/6/2009 13:56, prof. RNDr. David Trunec, CSc.
V originále
In this contribution we present a study of the role of secondary electrons in low pressure RF discharge via computer simulation. We have used particle simulation Particle In Cell Monte Carlo (PIC-MC) method. We have shown that the secondary electron emission coefficient (SEC) of electrodes affects plasma density. The change of the SEC from 0.1 to 0.2 induces an increase of plasma density up to 30%. We determined that about 30 % of all electrons in plasma are secondary electrons and electrons created in ionization collisions of secondary electrons. More than half of all ions in plasma are ions, created in ionization collisions of secondary electrons. We have calculated many further characteristics of secondary particles.
In Czech
V příspěvku uvádíme studium role sekundárních elektronů v nízkotlakém RF výboji pomocí počitačové simulace. Pro simulaci jsme užili částicovou simulaci (Particle In Cell-Monte Carlo). Ukazali jsme, že koeficient sekundární emise (SEC) elektrod výrazně ovlivnuje plazma. Změna SEC o 0,1 vyvolá nárůst hustoty plazmatu až o 30%. Ukázali jsem, že okolo 30% elektronů jsou sekundárních elektronů a elektronů vytvořených ionizačníma srážkama sekundárních elektronů. Více než polovina všech iontů v systému je tvořena ionty vzniklými z ionizačních srážek sekundárních elektronů.
Links
| MSM0021622411, plan (intention) |
|