The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation

BRZOBOHATÝ, Oto and David TRUNEC. The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation. In SAPP XV. Podbanske, Slovakia: Karol Hensel, 2005, p. 135-137, 2 pp. ISBN 80-223-2018-8.

Basic information

• Original name: The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation
• Name in Czech: Role sekundárních elektronů v nizkotlakém rf výboji pomocí počítačové simulace
• Authors: BRZOBOHATÝ, Oto (203 Czech Republic, guarantor) and David TRUNEC (203 Czech Republic).
• Edition: Podbanske, Slovakia, SAPP XV, p. 135-137, 2 pp. 2005.
• Publisher: Karol Hensel

Other information

• Original language: English
• Type of outcome: Proceedings paper
• Field of Study: 10305 Fluids and plasma physics
• Country of publisher: Slovakia
• Confidentiality degree: is not subject to a state or trade secret
• RIV identification code: RIV/00216224:14310/05:00025502
• Organization unit: Faculty of Science
• ISBN: 80-223-2018-8
• Keywords in English: secondary electrons; computer simulation
• Tags: computer simulation, secondary electrons

Abstract

In this contribution we present a study of the role of secondary electrons in low pressure RF discharge via computer simulation. We have used particle simulation Particle In Cell Monte Carlo (PIC-MC) method. We have shown that the secondary electron emission coefficient (SEC) of electrodes affects plasma density. The change of the SEC from 0.1 to 0.2 induces an increase of plasma density up to 30%. We determined that about 30 % of all electrons in plasma are secondary electrons and electrons created in ionization collisions of secondary electrons. More than half of all ions in plasma are ions, created in ionization collisions of secondary electrons. We have calculated many further characteristics of secondary particles.

Abstract (in Czech)

V příspěvku uvádíme studium role sekundárních elektronů v nízkotlakém RF výboji pomocí počitačové simulace. Pro simulaci jsme užili částicovou simulaci (Particle In Cell-Monte Carlo). Ukazali jsme, že koeficient sekundární emise (SEC) elektrod výrazně ovlivnuje plazma. Změna SEC o 0,1 vyvolá nárůst hustoty plazmatu až o 30%. Ukázali jsem, že okolo 30% elektronů jsou sekundárních elektronů a elektronů vytvořených ionizačníma srážkama sekundárních elektronů. Více než polovina všech iontů v systému je tvořena ionty vzniklými z ionizačních srážek sekundárních elektronů.

Links

• MSM0021622411, plan (intention): Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface