J 2005

Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging

LÜBBERT, D., T. BAUMBACH, Petr MIKULÍK, P. PERNOT, L. HELFEN et. al.

Basic information

Original name

Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging

Name in Czech

Lokální analýza rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN zobrazením rocking křivek

Authors

LÜBBERT, D. (276 Germany), T. BAUMBACH (276 Germany), Petr MIKULÍK (203 Czech Republic, guarantor), P. PERNOT (203 Czech Republic), L. HELFEN (276 Germany), R. KÖHLER (276 Germany), T.M. KATONA (840 United States of America), S. KELLER (840 United States of America), T.M. KATONA (840 United States of America) and S.P. DENBAARS (840 United States of America)

Edition

Journal of physics D: Applied physics, Bristol, England, IOP Publishing Ltd. 2005, 0022-3727

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

References:

Impact factor

Impact factor: 1.957

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00013719

Organization unit

Faculty of Science

UT WoS

000230243500011

Keywords in English

lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; GaN; ELO

Tags

International impact, Reviewed
Změněno: 12/2/2007 18:35, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Abstract

V originále

We report on recent advances in spatially resolved x-ray diffraction, extending the technique known as rocking curve imaging down to 1--2 um spatial resolution. Application to a set of gallium nitride samples grown by epitaxial lateral overgrowth (ELO) shows the potential of the technique. Quantitative information on crystallographic misorientations and lattice quality can be obtained by direct imaging with high lateral resolution. Results from two samples of ELO-GaN grown on different substrates are compared. Tilt in individual lateral periods of the ELO structure can be quantified. Local tilt fluctuations are distinguished from macroscopic variations (curvature). The local lattice quality can be investigated via the peak width of diffraction profiles recorded in individual camera pixels. The peak broadening previously observed in laboratory x-ray diffraction measurements is found to have (at least) two different reasons. In both cases, peak broadening does not indicate a degradation in local crystalline quality.

In Czech

Referujeme o nejnovějších výsledcích v prostorově rozlišené rtg difrakci, rozšiřující techniku zvanou zobrazení rocking křivkami na rozlišení 1--2 um. Potenciál metody je demonstrován na sérii GaN vzorků připravených epitaxním přerostením (ELO). Kvantitativní informace o krystalografické rozorientaci a kvalitě mřížky může být získána přímým zobrazením s vysokým laterálním rozlišením. Srovnáváme výsledky ze dvou vzorků ELO-GaN rostlých na různých substrátech. Lokální kvalita mřížky je analyzována pomocí šířky píků difrakčních profilů zaznamenaných jednotlivými pixely na kameře. Rozšíření šířky píků měřené laboratorní rtg difrakcí je interpretováno, a zjištěno, že neznačí degradaci v lokální kvalitě mřížky.

Links

MSM 143100002, plan (intention)
Name: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Physical properties of new materials and layered structures
MSM0021622410, plan (intention)
Name: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Physical and chemical properties of advanced materials and structures