| BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jan SOBOTA, Jiří BURŠÍK and Vladislav NAVRÁTIL. Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech (Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates). In 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti". I. Košice: Hutnícka fakulta TU v Košiciach, 2005, p. 1-17. ISBN 80-8073-235-3. |
Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@inproceedings{571470,
author = {Buršíková, Vilma and Sobota, Jan and Buršík, Jiří and Navrátil, Vladislav},
address = {Košice},
booktitle = {1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti"},
edition = {I.},
keywords = {Thin solid films; microhardness; low temperature plasma},
language = {cze},
location = {Košice},
isbn = {80-8073-235-3},
pages = {1-17},
publisher = {Hutnícka fakulta TU v Košiciach},
title = {Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech},
year = {2005}
}
TY - JOUR
ID - 571470
AU - Buršíková, Vilma - Sobota, Jan - Buršík, Jiří - Navrátil, Vladislav
PY - 2005
TI - Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech
PB - Hutnícka fakulta TU v Košiciach
CY - Košice
SN - 8080732353
KW - Thin solid films
KW - microhardness
KW - low temperature plasma
N2 - Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech byly zkoumány pomocí metody Depth Sensing Indentation a zkoumána závislost mikrotvrdosti a Youngova modulu na složení a teplotě plazmatu.
ER -
BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jan SOBOTA, Jiří BURŠÍK and Vladislav NAVRÁTIL. Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech (Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates). In \textit{1. Slovensko - Český seminár ''Lokálne mechanické vlastnosti''}. I. Košice: Hutnícka fakulta TU v Košiciach, 2005, p.~1-17. ISBN~80-8073-235-3.
|
