BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jan SOBOTA, Jiří BURŠÍK and Vladislav NAVRÁTIL. Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech (Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates). In 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti". I. Košice: Hutnícka fakulta TU v Košiciach, 2005, p. 1-17. ISBN 80-8073-235-3. |
Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@inproceedings{571470, author = {Buršíková, Vilma and Sobota, Jan and Buršík, Jiří and Navrátil, Vladislav}, address = {Košice}, booktitle = {1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti"}, edition = {I.}, keywords = {Thin solid films; microhardness; low temperature plasma}, language = {cze}, location = {Košice}, isbn = {80-8073-235-3}, pages = {1-17}, publisher = {Hutnícka fakulta TU v Košiciach}, title = {Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech}, year = {2005} }
TY - JOUR ID - 571470 AU - Buršíková, Vilma - Sobota, Jan - Buršík, Jiří - Navrátil, Vladislav PY - 2005 TI - Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech PB - Hutnícka fakulta TU v Košiciach CY - Košice SN - 8080732353 KW - Thin solid films KW - microhardness KW - low temperature plasma N2 - Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech byly zkoumány pomocí metody Depth Sensing Indentation a zkoumána závislost mikrotvrdosti a Youngova modulu na složení a teplotě plazmatu. ER -
BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jan SOBOTA, Jiří BURŠÍK and Vladislav NAVRÁTIL. Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech (Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates). In \textit{1. Slovensko - Český seminár ''Lokálne mechanické vlastnosti''}. I. Košice: Hutnícka fakulta TU v Košiciach, 2005, p.~1-17. ISBN~80-8073-235-3.
|