J 2005

Study of the mechanical properties of thin films using combined nanoindentation and AFM measurements

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr KLAPETEK, Angelique BOUSQUET and Marek ELIÁŠ

Basic information

Original name

Study of the mechanical properties of thin films using combined nanoindentation and AFM measurements

Name in Czech

Studium mechanických vlastností tenkých vrstev kombinací nanotvrdosti a AFM

Authors

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Czech Republic, guarantor), Petr KLAPETEK (203 Czech Republic), Angelique BOUSQUET (250 France) and Marek ELIÁŠ (203 Czech Republic)

Edition

Jemná mechanika a optika, Přerov, Physical Institute, ASCR, 2005, 0447-6441

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00012840

Organization unit

Faculty of Science

Keywords in English

nanoindentation; AFM; thin films; mechanical properties

Tags

Změněno: 12/12/2005 18:00, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Abstract

ORIG CZ

V originále

Study of the mechanical properties of thin films prepared by PECVD using combined nanoindentation and AFM measurements.

In Czech

Studium mechanických vlastností tenkých vrstev připravených v plazmatu kombinací AFM a nanoindentace.

Links

GA106/05/0274, research and development project
Name: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
Investor: Czech Science Foundation, Multiscale approach to relationships between mechanical and microstructural characteristics of materials
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface