D 2005

Infrared Response of Heavily Doped p-type Si and SiGe Alloys from Ellipsometric Measurements

HUMLÍČEK, Josef and Vlastimil KŘÁPEK

Basic information

Original name

Infrared Response of Heavily Doped p-type Si and SiGe Alloys from Ellipsometric Measurements

Name in Czech

Infračervená odezva silně legovaného p-typu Si a slitin SiGe z elipsometrických měření

Authors

HUMLÍČEK, Josef (203 Czech Republic, guarantor) and Vlastimil KŘÁPEK (203 Czech Republic)

Edition

USA, CP772, Physics of Semiconductors: 27th International Conference on the Physics of Semiconductors, p. 113-114, 2 pp. 2005

Publisher

American Institute of Physics

Other information

Language

English

Type of outcome

Proceedings paper

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

United States of America

Confidentiality degree

is not subject to a state or trade secret

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00014387

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

0-7354-0257--4

UT WoS

000230723900033

Keywords in English

silico-germanium alloys; infrared ellipsometry
Changed: 1/2/2006 12:41, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.

Abstract

V originále

We report here ellipsometric spectra of Si and SiGe alloys heavily doped with boron. In the mid-infrared range, the response can be separated into the contributions of free-hole plasma and direct intervalence transitions. The first contribution extrapolates correctly to the zero-frequency resistance, the second is in a good agreement with the 8-band k.p calculation.

In Czech

Elipsometrická spektra Si a slitin SiGe silně legovaných bórem. Ve střední infračervené oblasti lze v optické odezvě oddělit příspěvky plasmatu volných děr a přímých mezipásových přechodů. První z obou příspěvků dává správnou extrapolaci stejnosměrného odporu, druhý je v dobré shodě s osmipásovou k.p aproximací.

Links

MSM0021622410, plan (intention)
Name: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Physical and chemical properties of advanced materials and structures