Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

ZŮDA, Jaroslav, Vilma BURŠÍKOVÁ, Jan ČECH and Pavel SŤAHEL. Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition. In JUNIORMAT'05. Brno: Faculty of mechanical engineering, BUT, 2005, p. 47-50. ISBN 80-214-2984-4.

Basic information

Original name

Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

Name in Czech

Termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu

Authors

ZŮDA, Jaroslav (203 Czech Republic), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic, guarantor), Jan ČECH (203 Czech Republic) and Pavel SŤAHEL (203 Czech Republic)

Edition

Brno, JUNIORMAT'05, p. 47-50, 4 pp. 2005

Publisher

Faculty of mechanical engineering, BUT

---

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00012982

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

80-214-2984-4

Keywords in English

Thermal stability; diamond like carbon; thin films; plasma enhanced chemical vapor deposition

Tags

diamond like carbon, thermal stability, thin films

---

Abstract

V originále

In this work the thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition was studied.

In Czech

V této práci byla studována termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu.

---

Links

GA106/05/0274, research and development project	Name: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů Investor: Czech Science Foundation, Multiscale approach to relationships between mechanical and microstructural characteristics of materials
GA202/05/0777, research and development project	Name: Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku Investor: Czech Science Foundation, Plasmachemical modification of natural polymers based on cellulose in atmospheric pressure surface or coplanar barrier discharge
MSM0021622411, plan (intention)	Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface