D 2005

Analytical electron microscopy of plasma deposited carbon nanostructures

BURŠÍK, Jiří, Marek ELIÁŠ, Ondřej JAŠEK, Vít KUDRLE, Martin BUBLAN et. al.

Basic information

Original name

Analytical electron microscopy of plasma deposited carbon nanostructures

Name in Czech

Analýza uhlíkovým nanostruktur připravných v plazmatu elektronovou mikroskopií

Authors

BURŠÍK, Jiří (203 Czech Republic), Marek ELIÁŠ (203 Czech Republic), Ondřej JAŠEK (203 Czech Republic), Vít KUDRLE (203 Czech Republic), Martin BUBLAN (203 Czech Republic) and Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic, guarantor)

Edition

1. vyd. Portiroz, Proceedings of 7th Multinational Congress on Microscopy, p. 321-322, 2 pp. 2005

Publisher

Jožef Stefan Institute

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Slovenia

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00012991

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

961-6303

Keywords in English

electron microscopy; carbon nanostructures; plasma

Tags

International impact
Změněno: 5/1/2007 12:49, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Abstract

V originále

Carbon nanostructures studied in this work were prepared by two methods. In both cases they were grown on Si substrates with Fe catalysts. As a first method, microwave plasma torch at atmospheric pressure was used, in second case CNTs were grown employing an inductively coupled plasma chemical vapor deposition (ICP-PVD). For microstructural studies, a Jeol JSM 6460 scanning electron microscope (SEM) with an Oxford Instruments INCA Energy analyser (EDX) and a Philips CM12 STEM transmission electron microscope (TEM) with an EDAX analyser were used.

In Czech

Studované uhlíkové nanostruktury byly připraveny na substrátech Si s tenkou vrstvou katalyzátoru Fe dvěma PECVD metodami. V prvním případě šlo o mikrovlnný výboj za atmosférického tlaku v druhém pak induktivně vázaný vysokofrekvenční výboj. Ke studiu mikrostruktury byl použit skenovací elektronový mikroskop Jeol 6460 s EDX analyzátorem INCA a transmisní elektronový mikroskop Philips CM12 s EDAX analyzátorem.

Links

GA202/05/0607, research and development project
Name: Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
Investor: Czech Science Foundation, Synthesis of carbon micro- and nanostructures by plasma technologies
MSM 143100003, plan (intention)
Name: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study of plasmachemical reactions in non-isothermic low pressure plasma and its interaction with the surface of solid substrates