Detailed Information on Publication Record
2005
Optical measurement of mechanical stresses in diamond-like carbon films
OHLÍDAL, Ivan, Miloslav OHLÍDAL, Daniel FRANTA, Vladimír ČUDEK, Vilma BURŠÍKOVÁ et. al.Basic information
Original name
Optical measurement of mechanical stresses in diamond-like carbon films
Name in Czech
Optické měření mechanického napětí v diamatu podobných vrstvách
Authors
OHLÍDAL, Ivan (203 Czech Republic, guarantor), Miloslav OHLÍDAL (203 Czech Republic), Daniel FRANTA (203 Czech Republic), Vladimír ČUDEK (203 Czech Republic), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic) and Petr KLAPETEK (203 Czech Republic)
Edition
Bellingham, Washington, USA, 8-th International Symposium on Laser Metrology, p. 717-728, 12 pp. 2005
Publisher
SPIE - The International Society for Optical Engineering
Other information
Language
English
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10302 Condensed matter physics
Country of publisher
United States of America
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
References:
RIV identification code
RIV/00216224:14310/05:00013025
Organization unit
Faculty of Science
ISBN
0-8194-5757-4
UT WoS
000228899900089
Keywords in English
DLC films; mechanical stress; two-beam interferometry; chromatic aberration method
Změněno: 3/2/2006 17:44, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
In this paper the mechanical stresses taking place in diamond like thin films prepared by the plasma enhanced chemical vapor deposition onto silicon single crystal substrates are studied. For determination of the stress values the Stoney's formula is used. The values of the film thicknesses are determined using the combined method of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. The values of the curvature radii of the deformed silicon substrates in consequence of the film stresses are evaluated using interferometric method based on two-beam interferometry and chromatic aberration method. The dependence of the mechanical stress inside these films on their thickness values is determined. It is found that this dependence can be approximate by the straight-line. The results achieved for the mechanical stresses obtained by both the optical methods, i.e. by the interferometric and chromatic aberration method, are compared. It is shown that within the experimental accuracy the stress values determined using both these method are identical. Thus, it is shown that the chromatic aberration method is suitable for measuring the mechanical stresses inside the thin solid films and it is the competitive method for the other optical methods utilized for this purpose so far.
In Czech
V tomto článkujsou studována mechanická napětí existující v diamantu podobných vrstvách připravených plasmaticky podporovanou chemickou deposicí v parách na podložky z monokrystalického křemíku. Pro určení těchto napětí je využita Stoneyova formule. Hodnoty tlouštěk vrstev jsou určeny pomocí kombinované metody víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie. Hodnoty poloměrů křivosti deformovaných podložek křemíku v důsledku napětí ve vrstvách jsou určeny pomocí použitím metody dvoupaprskové interferometrie a metody chromatické aberace. Je určena závislost mechanického napětí uvnitř vrstev na jejich tloušťce. Nalezli jsme, že tato závislost může být aproximována přímkou. Výsledky týkající se mechanických napětí ve vrstvách dosažené oběma optickými metodami, tj. interferometrickou metodou a metodou chromatické aberace, jsou srovnány. Ukázali jsme, že v rámci experimentální přesnosti jsou hodnoty mechanického napětí určené oběma metodami identické. Ukázali jsme tedy, že metoda chromatické aberace je vhodnou konkurenční metodou pro jiné optické metody využitelné pro tento účel.
Links
| GA101/04/2131, research and development project |
| ||
| MSM 143100003, plan (intention) |
|