Detailed Information on Publication Record
2005
Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings
ANTOŠ, Roman, Ivan OHLÍDAL, Daniel FRANTA, Petr KLAPETEK, Jan MISTÍK et. al.Basic information
Original name
Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings
Name in Czech
Spektroskopická elipsometrie sinusoidálních reliéfních mřížek
Authors
ANTOŠ, Roman (203 Czech Republic), Ivan OHLÍDAL (203 Czech Republic, guarantor), Daniel FRANTA (203 Czech Republic), Petr KLAPETEK (203 Czech Republic), Jan MISTÍK (203 Czech Republic), Tomuo YAMAGUCHI (392 Japan) and Štefan VIŠŇOVSKÝ (203 Czech Republic)
Edition
Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332
Other information
Language
English
Type of outcome
Článek v odborném periodiku
Field of Study
10302 Condensed matter physics
Country of publisher
United States of America
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
References:
Impact factor
Impact factor: 1.263
RIV identification code
RIV/00216224:14310/05:00013177
Organization unit
Faculty of Science
UT WoS
000228600200051
Keywords in English
Optical metrology; Spekroscopic ellipsometry; Sinusoidal gratings; Wood anomaly; RCWA; Incoherent light
Tags
Změněno: 3/2/2006 17:49, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
Spectroscopic ellipsometry (SE) is used to study a sinusoidal-relief grating fabricated on a surface of transparent polymer. An optically thick polymer layer is situated on a glass substrate and its refraction index is optically matched to the index of the glass. The rigorous coupled-wave analysis, implemented as the airy-like internal reflection series, is applied to calculate the optical response of the relief grating. The entire optical response of the sample is determined by employing incoherent backreflections at the interface between the polymer and the glass. The parameters describing the dimensions and the real shape of the sine-like relief, as well as the quality of the optical matching between the polymer and the glass, are determined using SE together with atomic force microscopy as a complementary technique.
In Czech
Spektroskopická elipsometrie (SE) je použita pro studium mřížek se sinusovým reliefem, které byly připraveny na povrchu transparentního polymeru. Opticky tlustá polymerní vrstva je umístěna na skleněnou podložku a její index lomu je opticky přizpůsoben s indexem lomu skla. Rigorosní analýza vázaných vln implementovaná jako airyho podobná řada vnitřních odrazů je aplikována pro výpočet optické odezvy reliefní mřížky. Celková optická odezva vzorku je určena s využitím zpětných odrazů na rozhraní mezi polymerem a sklem. Parametry popisující rozměry a skutečný tvar sinusového reliefu stejně tak jako kvalitu optického přizpůsobení mezi polymerem a sklem jsou určeny s využitím spektroskopické elipsometrie a mikroskopie atomové síly jako komplementární techniky.
Links
| GA202/03/0776, research and development project |
| |
| ME 574, research and development project |
|