Detailed Information on Publication Record
2005
Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions
FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jan MISTÍK, Tomuo YAMAGUCHI, Gu Jin HU et. al.Basic information
Original name
Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions
Name in Czech
Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti
Authors
FRANTA, Daniel (203 Czech Republic, guarantor), Ivan OHLÍDAL (203 Czech Republic), Jan MISTÍK (203 Czech Republic), Tomuo YAMAGUCHI (392 Japan), Gu Jin HU (156 China) and Ning DAI (156 China)
Edition
Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332
Other information
Language
English
Type of outcome
Článek v odborném periodiku
Field of Study
10302 Condensed matter physics
Country of publisher
United States of America
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
References:
Impact factor
Impact factor: 1.263
RIV identification code
RIV/00216224:14310/05:00014764
Organization unit
Faculty of Science
UT WoS
000228600200078
Keywords in English
PZT films; Optical constants; Ellipsometry; Reflectometry
Změněno: 3/2/2006 17:43, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
In this paper the results concerning the optical characterization of the PZT film are presented. The multi-sample modification of the optical method based on combining variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry is used to obtain the spectral dependences of the optical constants of this film within the spectral region 190-1000 nm. Within the near-UV region the sharp features of the spectral dependences of the optical constants are found. These features are explained by the existence of the narrow bands of the 4d and 3d valence electrons of the transition metals Zr and Ti. Within the optical characterization of the PZT film the defects consisting of boundary roughness and refractive index profile are respected.
In Czech
V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se optické charakterizace PZT vrstvy. Vícevzorková modifikace optické metody založené na kombinaci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie je použita pro obdržení spektrálních závislostí optických konstant této vrstvy v rámci spektrální oblasti 190-1000 nm. V blízké UV oblasti ostré tvary spektrálních závislostí optických konstant byly nalezeny. Tyto tvary jsou vysvětleny existencí úzkých pásů 4d a 3d valenčních elektronů přechodových kovů Zr a Ti. V rámci optické charakterizace PZT vrstvy jsou respektovány defekty sestávající se z drsnosti rozhraní a profilu indexu lomu.
Links
| MSM 143100003, plan (intention) |
|