FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jan MISTÍK, Tomuo YAMAGUCHI, Gu Jin HU and Ning DAI. Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions. Applied Surface Science. USA: ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, vol. 244, 1-4, p. 338-342. ISSN 0169-4332.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions
Name in Czech Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti
Authors FRANTA, Daniel (203 Czech Republic, guarantor), Ivan OHLÍDAL (203 Czech Republic), Jan MISTÍK (203 Czech Republic), Tomuo YAMAGUCHI (392 Japan), Gu Jin HU (156 China) and Ning DAI (156 China).
Edition Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332.
Other information
Original language English
Type of outcome Article in a journal
Field of Study 10302 Condensed matter physics
Country of publisher United States of America
Confidentiality degree is not subject to a state or trade secret
WWW URL
Impact factor Impact factor: 1.263
RIV identification code RIV/00216224:14310/05:00014764
Organization unit Faculty of Science
UT WoS 000228600200078
Keywords in English PZT films; Optical constants; Ellipsometry; Reflectometry
Tags ellipsometry, optical constants, PZT films, Reflectometry
Changed by Changed by: Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000. Changed: 3/2/2006 17:43.
Abstract
In this paper the results concerning the optical characterization of the PZT film are presented. The multi-sample modification of the optical method based on combining variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry is used to obtain the spectral dependences of the optical constants of this film within the spectral region 190-1000 nm. Within the near-UV region the sharp features of the spectral dependences of the optical constants are found. These features are explained by the existence of the narrow bands of the 4d and 3d valence electrons of the transition metals Zr and Ti. Within the optical characterization of the PZT film the defects consisting of boundary roughness and refractive index profile are respected.
Abstract (in Czech)
V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se optické charakterizace PZT vrstvy. Vícevzorková modifikace optické metody založené na kombinaci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie je použita pro obdržení spektrálních závislostí optických konstant této vrstvy v rámci spektrální oblasti 190-1000 nm. V blízké UV oblasti ostré tvary spektrálních závislostí optických konstant byly nalezeny. Tyto tvary jsou vysvětleny existencí úzkých pásů 4d a 3d valenčních elektronů přechodových kovů Zr a Ti. V rámci optické charakterizace PZT vrstvy jsou respektovány defekty sestávající se z drsnosti rozhraní a profilu indexu lomu.
Links
MSM 143100003, plan (intention)Name: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study of plasmachemical reactions in non-isothermic low pressure plasma and its interaction with the surface of solid substrates
PrintDisplayed: 30/9/2024 03:38