J 2005

Optical properties of slightly rough LaNiO3 thin films studied by spectroscopic ellipsometry and reflectometry

MISTRÍK, Jan, Tomuo YAMAGUCHI, Daniel FRANTA, Ivan OHLÍDAL, Gu Jin HU et. al.

Basic information

Original name

Optical properties of slightly rough LaNiO3 thin films studied by spectroscopic ellipsometry and reflectometry

Name in Czech

Optické vlastnosti jemně drsných tenkých vrstev LaNiO3 studovaných spektroskopickou elipsometrií a reflektometrií

Authors

MISTRÍK, Jan (203 Czech Republic), Tomuo YAMAGUCHI (392 Japan), Daniel FRANTA (203 Czech Republic, guarantor), Ivan OHLÍDAL (203 Czech Republic), Gu Jin HU (156 China) and Ning DAI (156 China)

Edition

Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

United States of America

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

References:

Impact factor

Impact factor: 1.263

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00014774

Organization unit

Faculty of Science

UT WoS

000228600200099

Keywords in English

Ellipsometry; Reflectometry; Optical constants; LNO; LaNiO3
Změněno: 3/2/2006 17:48, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Abstract

V originále

Optical characterization of sol-gel deposited lanthanum nickel oxide, LaNiO3 (LNO) film on Pt-coated Si substrate was performed by spectroscopic ellipsometry and reflectometry. The sum of five Lorentz oscillators was used for LNO dispersion parameterization in spectral range from 190 to 1000 nm. Two theoretical approaches: Raileigh-Rice theory (RRT) and effective medium approximation (EMA) were considered to account for the effect of LNO upper boundary roughness. Root mean square (rms) values of the heights of irregularities obtained by atomic force microscopy (AFM) and RRT were 2.09 and 5.62 nm, respectively. Effective layer thickness in EMA approach was found to be 4.62 nm. Higher values of roughness determined from optical methods with respect to the AFM may be assigned to the effect of convolution of AFM tip and boundary irregularities.

In Czech

Optická charakterizace vrstev LaNiO3 (LNO) deponovaných sol-gel metodou na podložky Si pokryté Pt byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie a reflektometrie. Součet pěti Lorentzových oscilátorů byl užit pro dispersní parametrizaci LNO ve spektrálním oboru 190-1000 nm. Dva teoretic képřístupy: Rayleigh-Riceova teorie (RRT) a aproximace efektivního prostředí (EMA) byly uvažovány při započtení vlivu drsnosti rozhraní. RMS hodnoty výšek nepravidelností obdržené pomocí mikroskopie atomové síly (AFM) a RRT byly 2.09 a 5.62 nm. Tloušťka efektivní vrstvy v rámci přístupu EMA byla zjištěna v hodnotě 4.62 nm. Vyšší hodnoty drsnosti určené pomocí optické metody vzhledem k AFM mohou být vysvětleny efektem konvoluce hrotu AFM a nepravidelností rozhraní.

Links

MSM 143100003, plan (intention)
Name: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study of plasmachemical reactions in non-isothermic low pressure plasma and its interaction with the surface of solid substrates