D 2005

Digital two-wavelength holographic interference microscopy for surface roughness measurement

OHLÍDAL, Miloslav, L. ŠÍR, M. JÁKL and Ivan OHLÍDAL

Basic information

Original name

Digital two-wavelength holographic interference microscopy for surface roughness measurement

Name in Czech

Digitální dvousvazková holografická interferenční mikroskopie měření drsností povrchů

Authors

OHLÍDAL, Miloslav (203 Czech Republic), L. ŠÍR (203 Czech Republic), M. JÁKL (203 Czech Republic) and Ivan OHLÍDAL (203 Czech Republic, guarantor)

Edition

Bellingham, Washington, USA, Proceedings of SPIE 5945, 14th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics, p. 59450I-1-59450I-8, 8 pp. 2005

Publisher

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

United States of America

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00013301

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

0-8194-5958-8

Keywords in English

Holography; Interference; Surface roughness; Metrology
Změněno: 2/3/2006 15:21, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.

Abstract

V originále

A new approach to surface roughness measurement based on the digital two-wavelength holographic interference microscopy with the synthetic wavelength is presented. Two holograms of a rough surface are recorded step by step at two wavelengths of laser light by means of a CCD camera. Both holograms are numerically superposed and then reconstructed. Two reconstructed digital waves obtained numerically interfere. The surface roughness parameters can be determined from the shape of interference fringes in that interferogram created. The range of measurable height irregularities of the surface is given by the synthetic wavelength, which is indirectly proportional to the difference of the selected wavelengths.

In Czech

Je prezentován nový přístup k měření drsnosti povrchu založený na použití digitální dvouvlnové holografické interferenční mikroskopie se syntetickou vlnovou délkou. Dva hologramy náhodně drsného povrchu jsou postupně při dvou vlnových délkách zaznamenány CCD kamerou. Digitální součet obou hologramů je numericky rekonstruován. Rekonstruované digitální vlny spolu numericky interferují. Parametry měřeného drsného povrchu mohou být určeny z tvaru proužků ve vzniklém digitálním interferogramu. Rozsah měřitelné drsnosti povrchu je určen syntetickou vlnovou délkou, která je nepřímo úměrná rozdílu použitých vlnových délek.

Links

GA101/01/1104, research and development project
Name: Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie
Investor: Czech Science Foundation, Realisation of thelaboratory instrument for surface roughness measurement by holographic interferometry