Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@inproceedings{630447, author = {Ohlídal, Ivan and Franta, Daniel and Klapetek, Petr}, address = {Brno}, booktitle = {Kvalita a GPS 2005}, keywords = {Drsnost; AFM; Elipsometrie; Odrazivost}, language = {cze}, location = {Brno}, isbn = {80-214-3033-8}, pages = {131-139}, publisher = {Subkomise metrologie při TNK 7}, title = {Měření nanodrsnosti pomocí optických metod a mikroskopie atomové síly}, url = {http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/KGPS05_131.html}, year = {2005} }
TY - JOUR ID - 630447 AU - Ohlídal, Ivan - Franta, Daniel - Klapetek, Petr PY - 2005 TI - Měření nanodrsnosti pomocí optických metod a mikroskopie atomové síly PB - Subkomise metrologie při TNK 7 CY - Brno SN - 8021430338 KW - Drsnost KW - AFM KW - Elipsometrie KW - Odrazivost UR - http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/KGPS05_131.html N2 - V tomto příspěvku je podán přehled statistických veličin charakterizujících náhodně drsné povrchy, které jsou významné z hlediska praxe. Dále jsou popsány způsoby měření těchto veličin pomocí mikroskopie atomové síly a optické metody založené na kombinaci spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie. Tyto způsoby jsou ilustrovány prostřednictvím výsledků dosažených u náhodně drsných povrchů monokrystalu křemíku a u drsných horních rozhraních tenkých vrstev TiO2. Obdržené výsledky u obou druhů náhodně drsných povrchů pomocí kombinované optické metody a mikroskopie atomové síly jsou vzájemně srovnány. Je také provedena diskuse chyb, které mohou ovlivnit hodnoty statistických veličin určených pomocí mikroskopie atomové síly. V tomto příspěvku navíc ukážeme, že pomocí obou výše zmíněných experimentálních technik je možné provést i kvantitativní charakterizaci náhodně drsných povrchů vykazujících nanometrický charakter, tj. povrchů jejichž výškové nerovnosti jsou popsány standardními odchylkami s hodnotami menšími než 10 nm. Zároveň také ukážeme, že v případě nanometricky drsných povrchů je nutné z principiálních důvodů očekávat zřetelné rozdíly v hodnotách jejich statistických veličin určených pomocí mikroskopie atomové síly na jedné straně a pomocí kombinované optické metody na straně druhé. ER -
OHLÍDAL, Ivan, Daniel FRANTA and Petr KLAPETEK. Měření nanodrsnosti pomocí optických metod a mikroskopie atomové síly (Measurement of nanoroughness using optical methods and atomic force
microscopy). In \textit{Kvalita a GPS 2005}. Brno: Subkomise metrologie
při TNK 7, 2005, p.~131-139. ISBN~80-214-3033-8.
|