J 2006

Carbon nanotubes synthesis in microwave plasma torch at atmospheric pressure

JAŠEK, Ondřej, Marek ELIÁŠ, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Vít KUDRLE, Martin BUBLAN et. al.

Basic information

Original name

Carbon nanotubes synthesis in microwave plasma torch at atmospheric pressure

Name in Czech

Syntéza uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném pochodňovém výboji za atmosferického tlaku

Authors

JAŠEK, Ondřej (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution), Marek ELIÁŠ (203 Czech Republic, belonging to the institution), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic, belonging to the institution), Vít KUDRLE (203 Czech Republic, belonging to the institution), Martin BUBLAN (203 Czech Republic, belonging to the institution), Jiřina MATĚJKOVÁ (203 Czech Republic), Antonín REK (203 Czech Republic), Jiří BURŠÍK (203 Czech Republic) and Magdaléna KADLEČÍKOVÁ (703 Slovakia)

Edition

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING: C, 2006, 0928-4931

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Netherlands

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impact factor

Impact factor: 1.325

RIV identification code

RIV/00216224:14310/06:00015729

Organization unit

Faculty of Science

UT WoS

000238474700093

Keywords in English

carbon nanotubes; microwave torch

Tags

International impact, Reviewed
Změněno: 27/4/2013 11:03, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Abstract

V originále

Well aligned multi-walled carbon nanotubes were synthesized at atmospheric pressure using a microwave plasma torch on silicon substrates with silicon oxide buffer layer and catalyst overlayer in the mixture of argon, hydrogen and methane. Iron or nickel was used as catalysts. The optimum substrate temperature for the deposition on Si/SiO2/Fe substrates was about 970 K. In this case SEM micrographs of the deposits revealed a presence of vertically aligned nanotubes with the diameters around 15 nm. TEM micrographs showed a presence of amorphous carbon particles in the samples and some defects in the wall structure of the produced nanotubes. In Raman spectra two peaks at 1332 and 1584 cm-1 were observed. The CNTs were also synthesized on the substrates without SiO2 buffer layer but their quality was lower. The synthesis with Ni instead of Fe catalyst required lower temperature and the alignment of the nanotubes was worse. The deposition process was monitored by optical emission spectroscopy. Atomic lines of hydrogen and argon, an emission of CN due to a presence of nitrogen impurities from atmosphere, a weak molecular band of CH and strong C2 emission were detected in the spectra.

In Czech

Uspořádané vrstvy vícestěnných uhlíkových nanotrubek byly deponovány v mikrovlném výboji za atmosférického tlaku na křemíkových substrátech s difuzní bariérou SiO2 a tenkou vrstvou katalyzátoru. Depozice probíhala ve směsi plynů argon, vodík a metan. Jako katalyzátor sloužilo železo nebo nikl. Optimální teplota pro depozi na substrátech Si/SiO2/Fe byla 970 K. V případě těchto depozic prokázala analýza depozitu metodou SEM přítomnost uspořádaných nanotrubek o průměru 15 nm. Analýza TEM dále prokázala přítomnost částic amorfního uhlíku ve vrstvě a defektů ve struktuře nanotrubek. V Ramanovském spektru byly nalezeny dva píky a to 1332 a 1584 cm-1. Nanotrubky bylo také možno připravit na substrátech bez difúzní bariéry SiO2 ale jejich kvalita byla nižší. Depozice s katalyzátorem Ni vyžadovale nižší depoziční teplotu a uspořádanost vrstvy byla horší. Depozice byla dále monitorována optickou emisní spektroskopií. V optickém spektru byly identifikovány atomové čáry Ar a H a dále molekulární pásy CH, CN a intenzivní pás C2. Přítomnost pásu CN je zřejmě způsobena zbytkovou atmosférou.

Links

GA202/05/0607, research and development project
Name: Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
Investor: Czech Science Foundation, Synthesis of carbon micro- and nanostructures by plasma technologies
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface